Pressure control system for vacuum MEMS

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

فرآیند کنترل در سیستم کامپیوتری تهویه مطبوع ‏‎airwasher environmental control system for intelligent buildings‎‏

در این پایان نامه با استفاده از تکنولوژی روز و امکانات داخل کشور طریقه اتوماسیون سیستم تاسیساتی یک کارخانه نساجی (کارخانه نساجی اطلس پود) همراه با منوهای مربوطه و توضیحات کامل برنامه نویسی و طراحی بلوک های برنامه و سایر قسمتهای برنامه ارائه گشته است. علاوه بر این، برنامه با نمونه آمریکایی آن مقایسه و مزیت های آن نسبت به آمریکایی توضیح داده شده است. همچنین تمامی بلوک های برنامه بصورت شماتیکی بطو...

15 صفحه اول

New Design of Mems piezoresistive pressure sensor

The electromechanical analysis of a piezoresistive pressure microsensor with a square-shaped diaphragm for low-pressure biomedical applications is presented. This analysis is developed through a novel model and a finite element method (FEM) model. A microsensor with a diaphragm 1000 „m length and with thickness=400 µm is studied. The electric response of this microsensor is obtained with applyi...

متن کامل

ANFIS Approach for Tracking Control of MEMS Triaxial Gyroscope

In this paper, an Adaptive Neuro Fuzzy Inference System (ANFIS) based control is proposed for the tracking of a Micro-Electro Mechanical Systems (MEMS) gyroscope sensor. The ANFIS is used to train parameters of the controller for tracking a desired trajectory. Numerical simulations for a MEMS gyroscope are looked into to check the effectiveness of the ANFIS control scheme. It proves that the sy...

متن کامل

Modeling a MEMS Thermal Conductivity Pressure Sensor for the Evaluation of Glass Frit Vacuum Packaging

Developing an accurate model for MEMS devices and structures is a great asset for future design optimization and provides insight into experimental results. A thermal conductivity pressure sensor was microfabricated to evaluate the success of a glass frit vacuum packaging scheme. The sensor and the package dimensions present classical size effects that must be included in the model for accuracy...

متن کامل

System Dynamics and Adaptive Control for MEMS Gyroscope Sensor

System Dynamics and Adaptive Control for MEMS Gyroscope Sensor Juntao Fei1,2 and Hongfei Ding2 1Jiangsu Key Laboratory of Power Transmission and Distribution Equipment Technology 2College of Computer and Information, Hohai University, Changzhou, 213022, P. R. China Abstract: This paper presents an adaptive control approach for Micro‐Electro‐Mechanical Systems (MEMS) z‐axis gyroscope sensor....

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Vacuum

سال: 2020

ISSN: 0042-207X

DOI: 10.1016/j.vacuum.2020.109452